一、簡介
一、簡介
真空應(yīng)用技術(shù)部，技術(shù)力量雄厚，具有十幾年豐富的真空設(shè)備的設(shè)計(jì)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品涉及電真空器件的生產(chǎn)設(shè)備、鍍膜生產(chǎn)設(shè)備、超高真空科研生產(chǎn)設(shè)備及各種超高真空標(biāo)準(zhǔn)件。能按照客戶的要求，設(shè)計(jì)制造。生產(chǎn)的各種產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國家科研部門，得到了很高的評(píng)價(jià)。本公司具備很強(qiáng)的非標(biāo)設(shè)計(jì)能力，可以根據(jù)用戶具體要求，設(shè)計(jì)制造非標(biāo)產(chǎn)品。本公司制造的真空應(yīng)用設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空航天、電子信息、原子能、科學(xué)研究、建筑裝潢、機(jī)械汽車、光學(xué)、能源等行業(yè)。設(shè)備工作穩(wěn)定可靠，深受用戶好評(píng)。
二、主要產(chǎn)品
二、主要產(chǎn)品
（1）雙位高頻除氣臺(tái)
系統(tǒng)主要性能指標(biāo)：
1、空載極限真空度5×10-5Pa
2、系統(tǒng)為雙位結(jié)構(gòu)，可分別工作。主抽泵分別為600L及1500L分子泵，前級(jí)為8L機(jī)械泵。
3、高頻加熱指標(biāo)；最大功率30KW，工作頻率300～500KHZ，交流電源380V50A。
4、用于超導(dǎo)膜的制造及各種鍍膜試驗(yàn)
（2）陰極真空預(yù)處理臺(tái)（主要用于陰極預(yù)處理及試驗(yàn)二極管排氣）
系統(tǒng)主要性能指標(biāo)：
1、空載極限真空度5×10-6Pa
2、啟動(dòng)30分鐘后系統(tǒng)真空度8×10-4Pa
3、烘箱溫度：450℃
（3）等離子沉積系統(tǒng)：
系統(tǒng)主要性能指標(biāo)：
1、極限真空度1Pa
2、配置直聯(lián)泵及羅茨泵
3、系統(tǒng)包括樣品水冷轉(zhuǎn)盤、水冷擋板、水冷快速探頭等
（4）真空爐
系統(tǒng)主要性能指標(biāo)：
1、極限真空度6×10-4Pa
2、溫度范圍：950℃～1200℃可控，溫度均勻性±10℃
3、真空腔體Φ350×300
4、用于真空退火、真空釬焊和真空除氣
（5）、程控排氣臺(tái)系統(tǒng)主要性能指標(biāo)：
1、系統(tǒng)極限真空度5×10-9Pa
2、烘箱極限真空度<2Pa
3、烘箱尺寸Φ500×1200
4、可按用戶需要配置電源，設(shè)置溫控曲線及工藝控制、記錄。
